等離子清洗機處理能獲得滿(mǎn)意的剖面,鉆孔小,選對表面和電路的損傷小,清潔、經(jīng)濟、**。擇比大,刻蝕均勻性好重復性高。等離子清洗機處理過(guò)程中不會(huì )引入污染,潔凈度高。
晶圓光刻蝕膠等離子清洗機與傳統設備相比較,設備成本不高,加上清洗過(guò)程氣固相干式反應,干式處理工藝無(wú)污染,無(wú)廢水,符合環(huán)保要求,不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機溶劑,這使得整體成本要低于傳統的濕法清洗工藝。此外,等離子清洗機解決了濕法去除晶圓表面光刻膠反應不準確、易引入雜質(zhì)、清洗不徹底等缺點(diǎn)。不需要有機溶劑,對環(huán)境也沒(méi)有污染,屬于低成本的綠色清洗方式